Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Осаждение наноразмерных пленок Cu и Al в вакууме лазерным методом
Поиск

Осаждение наноразмерных пленок Cu и Al в вакууме лазерным методом

Авторы: Гончаров, В. К. Гусаков, Г. А. Пузырев, М. В.
Подробная информация
Индекс УДК 621.373:539.234
Осаждение наноразмерных пленок Cu и Al в вакууме лазерным методом
Текст
Инженерно-физический журнал
2013
Т. 86, № 5. - С. 960-966