Поиск

Получение алмазоподобных углеродных покрытий мз импульсных потоков углеродной плазмы с одновременной бомбардировкой растущей пленки ионами Аr+

Авторы: Клубович В.В. Хамчук Ю.Д. Бобровский В.В. Литвинов А.А.
Подробная информация
Получение алмазоподобных углеродных покрытий мз импульсных потоков углеродной плазмы с одновременной бомбардировкой растущей пленки ионами Аr+
Материалы, технологии, инструменты
1996
N 4.-С.74-75