Получение алмазоподобных углеродных покрытий мз импульсных потоков углеродной плазмы с одновременной бомбардировкой растущей пленки ионами Аr+
Клубович В.В., Хамчук Ю.Д., Бобровский В.В., Литвинов А.А.
Получение алмазоподобных углеродных покрытий мз импульсных потоков углеродной плазмы с одновременной бомбардировкой растущей пленки ионами Аr+
Материалы, технологии, инструменты, 1996, N 4.-С.74-75
