| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/413287416 |
| Дата корректировки | 21:08:59 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 543.4 |
| Власукова, О. А. | |
|
Оптические свойства пленок нитрида кремния, полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы Текст |
|
| Библиография | Библиогр.: 18 назв. |
|
нитрид кремния плазмохимическое осаждение химический состав высокотемпературная обработка люминесценция |
|
|
Комаров, Ф. Ф. Пархоменко, И. Н. Мильчанин, О. В. Леонтьев, А. В. Мудрый, А. В. Тогамбаева, А. К. |
|
|
Журнал прикладной спектроскопии 2013 Т. 80, № 1. - С. 92-96 |
|
| Тип документа | b |
