Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Оптические свойства пленок нитрида кремния, полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы
Поиск

Оптические свойства пленок нитрида кремния, полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы

Авторы: Власукова, О. А. Комаров, Ф. Ф. Пархоменко, И. Н. Мильчанин, О. В. Леонтьев, А. В. Мудрый, А. В. Тогамбаева, А. К.
Подробная информация
Индекс УДК 543.4
Оптические свойства пленок нитрида кремния, полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы
Текст
Журнал прикладной спектроскопии
2013
Т. 80, № 1. - С. 92-96