| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/221004435 |
| Дата корректировки | 15:15:58 9 марта 2022 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 546.28 |
| Косенок, А. Я. | |
|
Суспензии на основе наноразмерных порошков SiO[2] для стадии предварительной полировки пластин монокристаллического кремния Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 12 назв. |
|
суспензии наноразмерные порошки монокристаллический кремний полировка пластин |
|
|
Гайшун, В. Е. Тюленкова, О. И. Громов, В. И. Герасименя, Т. А. Денисман, В. Г. Матюшонок, О. А. Судник, Л. В. |
|
|
Материалы, технологии, инструменты 2012 Т. 17, № 3. - С. 49-53 |
|
| Тип документа | b |
