Поиск

Суспензии на основе наноразмерных порошков SiO[2] для стадии предварительной полировки пластин монокристаллического кремния

Авторы: Косенок, А. Я. Гайшун, В. Е. Тюленкова, О. И. Громов, В. И. Герасименя, Т. А. Денисман, В. Г. Матюшонок, О. А. Судник, Л. В.
Подробная информация
Индекс УДК 546.28
Суспензии на основе наноразмерных порошков SiO[2] для стадии предварительной полировки пластин монокристаллического кремния
Текст
Материалы, технологии, инструменты
2012
Т. 17, № 3. - С. 49-53