| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/225734005 |
| Дата корректировки | 20:55:11 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 544.23 |
| Горенберг, А. Я. | |
|
Измерение линейных размеров микро- и наноэлементов структуры с формой, близкой к цилиндрической, методом дефокусировки электронного зонда РЭМ Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
|
микроэлементы наноэлементы метод дефокусировки электронный зонд РЭМ |
|
|
Коростылев, Е. В. Заблоцкий, А. В. |
|
|
Энциклопедия инженера-химика 2012 № 6. - С. 4-6 |
|
| Тип документа | b |
