Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Измерение линейных размеров микро- и наноэлементов структуры с формой, близкой к цилиндрической, методом дефокусировки электронного зонда РЭМ
Поиск

Измерение линейных размеров микро- и наноэлементов структуры с формой, близкой к цилиндрической, методом дефокусировки электронного зонда РЭМ

Авторы: Горенберг, А. Я. Коростылев, Е. В. Заблоцкий, А. В.
Подробная информация
Индекс УДК 544.23
Измерение линейных размеров микро- и наноэлементов структуры с формой, близкой к цилиндрической, методом дефокусировки электронного зонда РЭМ
Текст
Энциклопедия инженера-химика
2012
№ 6. - С. 4-6