| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/221446735 |
| Дата корректировки | 20:50:46 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.002 |
| Бурмаков, А. П. | |
|
Алгоритмы оптического управления реактивным магнетронным осаждением пленочных покрытий Текст |
|
| Библиография | Библиогр.: 12 назв. |
|
реактивное магнетронное осаждение оптическое управление пленочные покрытия |
|
| Кулешов, В. Н. | |
|
Журнал прикладной спектроскопии 2912 Т. 79, № 3. - С. 430-435 |
|
| Тип документа | b |
