Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Алгоритмы оптического управления реактивным магнетронным осаждением пленочных покрытий
Поиск

Алгоритмы оптического управления реактивным магнетронным осаждением пленочных покрытий

Авторы: Бурмаков, А. П. Кулешов, В. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 621.382.002
Алгоритмы оптического управления реактивным магнетронным осаждением пленочных покрытий
Текст
Журнал прикладной спектроскопии
2912
Т. 79, № 3. - С. 430-435