| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | chps24_no3_ss74_ad1 |
| Дата корректировки | 13:45:26 1 ноября 2024 г. |
| Кодируемые данные | 241002s2024||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-chps24_no3_ss74_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Пермская государственная краевая универсальная библиотека им. А. М. Горького МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 661.2/.6 |
| Индекс ББК | 35.20 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Аверина, Ю. М. Юлия Михайловна Российский химико-технологический университет имени Д. И. Менделеева 070 |
|
|
Статистический анализ патентования в области производства карбида кремния высокой чистоты и изделий на его основе Аверина Ю. М., Вартанян М. А., Зверева О. В. [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | фот. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 79-80 (11 назв.) |
| Аннотация | Рассмотрены основные тенденции развития исследований карбида кремния для использования его в электронной промышленности. Исследована динамика патентных публикаций в области производства высокодисперсных порошков карбида кремния высокой чистоты для последующего применения при выращивании монокристаллов в электронной промышленности. Определены тенденции развития отрасли, ведущие страны и фирмы разработчики. В результате исследования подтверждена актуальность и востребованность развития технологии производства выращивания эпитаксиальных слоев карбида кремния n- и p-типов проводимости на пластинах-подложках из монокристаллического карбида кремния для материалов электроники в России. |
| Примеч. о целев. назн. | 12+ |
|
Химическая технология AR-MARS Технология неорганических веществ Россия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
электронная промышленность полупроводники полупроводниковые изделия карбид кремния производство карбида кремния патентный рынок статистический анализ |
|
Вартанян, М. А. Мария Александровна Российский химико-технологический университет имени Д. И. Менделеева 070 Зверева, О. В. Ольга Владимировна Российский химико-технологический университет имени Д. И. Менделеева 070 Герасимов, Д. С. Дмитрий Сергеевич Научно-производственное объединение "Луч" 070 Федосеев, В. Н. Виктор Николаевич Научно-производственное объединение "Луч" 070 |
|
| ISSN | 2713-2854 |
| Название источника | Химическая промышленность сегодня |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | № 3. - С. 74-80 |
|
RU 61417092 20241002 RCR |
|
|
RU 61417092 20241002 |
|
|
RU AR-MARS 20241003 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20241003 |
|
|
http://www.chemprom.org/magazin/nomera-2024/3-2024.html |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
chps 2024 3 74 1 |
|
| 921 | |
| Сырье и материалы |
