| Индекс УДК | 661.2/.6 |
|
Статистический анализ патентования в области производства карбида кремния высокой чистоты и изделий на его основе Аверина Ю. М., Вартанян М. А., Зверева О. В. [и др.] |
|
| Аннотация | Рассмотрены основные тенденции развития исследований карбида кремния для использования его в электронной промышленности. Исследована динамика патентных публикаций в области производства высокодисперсных порошков карбида кремния высокой чистоты для последующего применения при выращивании монокристаллов в электронной промышленности. Определены тенденции развития отрасли, ведущие страны и фирмы разработчики. В результате исследования подтверждена актуальность и востребованность развития технологии производства выращивания эпитаксиальных слоев карбида кремния n- и p-типов проводимости на пластинах-подложках из монокристаллического карбида кремния для материалов электроники в России. |
| Название источника | Химическая промышленность сегодня |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | № 3. - С. 74-80 |
|
http://www.chemprom.org/magazin/nomera-2024/3-2024.html |
