| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zhps24_to91_no2_ss227_ad1 |
| Дата корректировки | 12:45:11 30 августа 2024 г. |
| Кодируемые данные | 240802s2024||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zhps24_to91_no2_ss227_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 535.33 |
| Индекс ББК | 22.344 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Мухаммад, А. И. 070 |
|
|
Поглощение ИК-излучения в структурах Ti/SiO[2]/Si[3]N4/n{+}-Si с островковым поверхностным слоем различной горизонтальной геометрии А. И. Мухаммад, П. И. Гайдук |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 233 (14 назв. ) |
| Аннотация | С помощью теоретически рассчитанных спектров поглощения инфракрасного излучения в структурах Ti/SiO[2]/Si[3]N4/n{+}-Si с островковым поверхностным слоем показано, что с увеличением размеров островков n{+}-Si при неизменном периоде их размещения на поверхности максимум поглощения уширяется и сдвигается в область с большей длиной волны. Предполагается, что этот максимум связан с возбуждением плазмонных колебаний в поверхностном островковом слое. Показано, что структура с размером островков 3 мкм и периодом их размещения 6 мкм поглощает -99 % падающего на нее излучения на длине волны, практически равной периоду (6. 2 мкм). Другие полосы поглощения в спектральных диапазонах -4 мкм и 9. 0-9. 5 мкм возникают независимо от размеров островков и связаны с поглощением в слое диоксида кремния. Установлено, что слой нелегированного кремния толщиной до 200 нм, расположенный между Ti-подложкой и слоем SiO[2], незначительно уменьшает интенсивность и полуширину максимума плазмонного поглощения. |
|
Физика AR-MARS Спектроскопия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
легированный кремний многослойная структура нелегированный кремний плазмонное поглощение поглощение инфракрасного излучения спектры поглощения |
|
Гайдук, П. И. 070 |
|
| ISSN | 0514-7506 |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 91, № 2. - С. 227-233 |
|
RU 43013090 20240802 RCR |
|
|
RU 43013090 20240802 |
|
|
RU AR-MARS 20240802 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20240802 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zhps 2024 91 2 227 1 |
|
| 718 | |
| Спектроскопия твердых тел |
