| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/333118258 |
| Дата корректировки | 19:57:36 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.3 |
| Абрамский, А. Ю. | |
|
Разработка химико-гальванических процессов для литографического производства трехмерных микроструктур Текст |
|
| Библиография | Библиогр.: 14 назв. |
|
электроосаждение гальваническое копирование сплавы рений-никель литографическое производство трехмерные микроструктуры |
|
|
Гольденберг, Б. Г. Зелинский, А. Г. Кондратьев, В. И. Корольков, В. П. Коронкевич, В. П. Маслий, А. И. Медведев, А. Ж. |
|
|
Гальванотехника и обработка поверхности 2010 Т. 18, № 2.- С. 11-17 |
|
| Тип документа | b |
