Поиск

Разработка химико-гальванических процессов для литографического производства трехмерных микроструктур

Авторы: Абрамский, А. Ю. Гольденберг, Б. Г. Зелинский, А. Г. Кондратьев, В. И. Корольков, В. П. Коронкевич, В. П. Маслий, А. И. Медведев, А. Ж.
Подробная информация
Индекс УДК 621.3
Разработка химико-гальванических процессов для литографического производства трехмерных микроструктур
Текст
Гальванотехника и обработка поверхности
2010
Т. 18, № 2.- С. 11-17