| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch23_to66_vy10_ss75_ad1 |
| Дата корректировки | 9:24:23 27 декабря 2023 г. |
| Кодируемые данные | 231128s2023||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch23_to66_vy10_ss75_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 66 |
| Индекс ББК | 35 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Сорокин, Б. П. Борис Павлович Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов; Московский физико-технический институт 070 |
|
|
Температурная стабильность материалов для композитных СВЧ акустических резонаторов и сенсоров на алмазных подложках Б. П. Сорокин, Н. О. Асафьев, Д. В. Яшин [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 7 рис., 1 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 82-83 (28 назв.) |
| Аннотация | Цель работы связана с исследованием температурной стабильности композитных СВЧ акустических резонаторов и сенсоров на алмазных подложках, включая высокотемпературный отжиг устройств и использованных материалов. Рассмотрено влияние отжига при высоких температурах вплоть до 650{0}С на работоспособность композитных СВЧ акустических резонаторов на алмазных подложках со структурами Al/ASN/Mo/ (100) алмаз и Pt/ASN/Pt/ (100) алмаз. Изучена деградация Mo, Pt и Al электродов. |
|
Химическая технология AR-MARS Общие вопросы химической технологии AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
высокотемпературный отжиг монокристаллические алмазы алмазы нитриды алюминия-скандия молибден платина алюминий композитный СВЧ акустические резонаторы акустические свойства температурная стабильность |
|
Асафьев, Н. О. Никита Олегович Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов; Московский физико-технический институт 070 Яшин, Д. В. Дмитрий Вадимович Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов; Московский физико-технический институт 070 Кульницкий, Б. А. Борис Арнольдович Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов 070 Аксененков, В. В. Виктор Владимирович Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов 070 Батова, Н. И. Наталья Ивановна Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов 070 |
|
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 66, вып. 10. - С. 75-83 |
|
RU 64417093 20231128 RCR |
|
|
RU 64417093 20231128 |
|
|
RU AR-MARS 20231128 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20231128 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2023 66 10 75 1 |
|
| 421 | |
| Химическая технология |
