| Индекс УДК | 66 |
|
Температурная стабильность материалов для композитных СВЧ акустических резонаторов и сенсоров на алмазных подложках Б. П. Сорокин, Н. О. Асафьев, Д. В. Яшин [и др.] |
|
| Аннотация | Цель работы связана с исследованием температурной стабильности композитных СВЧ акустических резонаторов и сенсоров на алмазных подложках, включая высокотемпературный отжиг устройств и использованных материалов. Рассмотрено влияние отжига при высоких температурах вплоть до 650{0}С на работоспособность композитных СВЧ акустических резонаторов на алмазных подложках со структурами Al/ASN/Mo/ (100) алмаз и Pt/ASN/Pt/ (100) алмаз. Изучена деградация Mo, Pt и Al электродов. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 66, вып. 10. - С. 75-83 |
