| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zhps23_to90_no2_ss266_ad1 |
| Дата корректировки | 11:27:28 30 октября 2023 г. |
| Кодируемые данные | 231027s2023||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zhps23_to90_no2_ss266_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК |
535.33 535.2/.3 |
| Индекс ББК |
22.344 22.343 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Комаров, Ф. Ф. 070 |
|
|
Оптические свойства слоев кремния, гипердопированных селеном: эффекты лазерной и термической обработки Ф. Ф. Комаров, Л. А. Власукова, О. B. Мильчанин [и др.] |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 274 (21 назв. ) |
| Аннотация | Слои кремния с концентрацией примеси селена до 10{21} см{–3} (превышает предел равновесной растворимости данной примеси в кремнии на четыре порядка величины) получены методом высокодозной ионной имплантации с последующим импульсным лазерным отжигом при плотностях энергии в импульсе от 0. 5 до 2. 5 Дж/см{2}. Резерфордовское обратное рассеяние ионов He{+} показало, что после лазерного отжига до 70 % атомов внедренной примеси локализованы в узлах кристаллической решетки кремния. Гипердопированные селеном слои кремния характеризуются повышенным (до 45-55 %) поглощением в спектральном диапазоне 1100-2400 нм. После термообработки (550 °C, 30 мин+850 °C, 5 мин) возрастания ИК-поглощения в сравнении с исходным кремнием не обнаружено, что связывается с потерями селена в результате диффузионного перераспределения. Проведена теоретическая оценка процессов рекристаллизации слоев кремния, аморфизованных ионами селена, и диффузионного перераспределения примеси в условиях равновесных термообработок. |
|
Физика AR-MARS Спектроскопия AR-MARS Физическая оптика AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
имплантация селена кремний кристаллическая решетка кремния лазерный отжиг поглощение света в ИК-диапазоне примеси селена рекристаллизация слоев кремния селен термообработка |
|
Власукова, Л. А. 070 Мильчанин, О. В. 070 Пархоменко, И. И. 070 Berencen, Y. 070 Альжанова, А. Е. 070 Ван, Т. 070 Zuk, J. 070 |
|
| ISSN | 0514-7506 |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 90, № 2. - С. 266-274 |
|
RU 43013090 20231027 RCR |
|
|
RU 43013090 20231027 |
|
|
RU AR-MARS 20231027 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20231027 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zhps 2023 90 2 266 1 |
|
| 718 | |
| Спектроскопия твердых тел |
