| Индекс УДК |
535.33 535.2/.3 |
|
Оптические свойства слоев кремния, гипердопированных селеном: эффекты лазерной и термической обработки Ф. Ф. Комаров, Л. А. Власукова, О. B. Мильчанин [и др.] |
|
| Аннотация | Слои кремния с концентрацией примеси селена до 10{21} см{–3} (превышает предел равновесной растворимости данной примеси в кремнии на четыре порядка величины) получены методом высокодозной ионной имплантации с последующим импульсным лазерным отжигом при плотностях энергии в импульсе от 0. 5 до 2. 5 Дж/см{2}. Резерфордовское обратное рассеяние ионов He{+} показало, что после лазерного отжига до 70 % атомов внедренной примеси локализованы в узлах кристаллической решетки кремния. Гипердопированные селеном слои кремния характеризуются повышенным (до 45-55 %) поглощением в спектральном диапазоне 1100-2400 нм. После термообработки (550 °C, 30 мин+850 °C, 5 мин) возрастания ИК-поглощения в сравнении с исходным кремнием не обнаружено, что связывается с потерями селена в результате диффузионного перераспределения. Проведена теоретическая оценка процессов рекристаллизации слоев кремния, аморфизованных ионами селена, и диффузионного перераспределения примеси в условиях равновесных термообработок. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 90, № 2. - С. 266-274 |
