| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | phcs23_to49_no5_ss567_ad1 |
| Дата корректировки | 11:26:19 30 октября 2023 г. |
| Кодируемые данные | 231017s2023||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-phcs23_to49_no5_ss567_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Индекс ББК | 31.232 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Бучин, Э. Ю. Физико-технологический институт им. К. А. Валиева РАН, Ярославский филиал 070 |
|
|
Ионно-лучевой синтез скрытого свинцово-силикатного слоя в монокристаллическом кремнии Э. Ю. Бучин, Ю. И. Денисенко |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 570 (10 назв. ) |
| Аннотация | Рассмотрены особенности формирования скрытого свинцово-силикатного изолирующего слоя в кремниевых подложках. Для этого в них последовательно имплантировались ионы молекулярного кислорода и свинца в атомарном соотношении 75 : 1, затем производились отжиги при температуре 1150°C в среде сухого кислорода. Распределение имплантированных ионов в экспериментальных образцах регистрировалось методом вторичной ионной масс-спектрометрии. Показано, что скрытый изолятор формируется в процессе спинодального распада твердого раствора SiO[x]-PbO[x] в виде трехслойной структуры. Средняя ее часть представляет собой диоксид кремния, легированный ионами свинца, боковые части состоят из свинцово-силикатной фазы. Для анализа профиля распределения свинца предложена модель релаксационной диффузии. |
|
Энергетика AR-MARS Проводниковые материалы и изделия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
ионно-лучевой синтез спинодальный распад анализ послойного распределения компонентов диоксид кремния релаксационная диффузия ионная масс-спектрометрия полупроводниковые материалы свинцово-силикатные изоляторы изоляторы свинцово-силикатные кремниевая подложка структура кремний-на-изоляторе |
|
Денисенко, Ю. И. Физико-технологический институт им. К. А. Валиева РАН, Ярославский филиал 070 |
|
| ISSN | 0132-6651 |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 49, № 5. - С. 567-570 |
|
RU 22013539 20231017 RCR |
|
|
RU 22013539 20231017 |
|
|
RU AR-MARS 20231017 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20231017 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
phcs 2023 49 5 567 1 |
|
| 14889 | |
| Краткие сообщения |
