| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zpch22_to95_vy4_ss483_ad1 |
| Дата корректировки | 11:25:35 31 июля 2023 г. |
| Кодируемые данные | 230619s2022||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zpch22_to95_vy4_ss483_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Чувашского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 661.2/.6 |
| Индекс ББК |
35.20 35.20 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Биль, А. С. Анастасия Сергеевна Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого 070 |
|
|
Низкотемпературное плазмохимическое осаждение при атмосферном давлении пленок диоксида кремния из тетраэтоксисилана А. С. Биль, С. Е. Александров |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 8 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 489 (20 назв. ) |
| Аннотация | Тонкие пленки были получены в системе тетраэтоксисилан-гелий на кремниевых пластинах в диэлектрическом барьерном разряде атмосферного давления при низких температурах в интервале 50-210°С. Охарактеризованы покрытия, полученные при различных условиях процесса: температуре подложки и поглощенной в плазме мощности. Установлено, что повышение температуры подложки приводит к росту скорости осаждения пленок, уменьшению их пористости, увеличению плотности и уменьшению содержания в них связей СН в группировках CH[2] и CH[3]. Увеличение мощности, поглощаемой в плазме, приводит к формированию пленок с низкой плотностью и неудовлетворительными диэлектрическими свойствами. |
|
Химическая технология AR-MARS Технология неорганических веществ AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
атмосферное давление диоксид кремния плазмохимическое осаждение тетраэтоксисилан тонкие пленки |
|
Александров, С. Е. доктор химических наук; профессор Сергей Евгеньевич Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого 070 |
|
| ISSN | 0044-4618 |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 95, вып. 4. - С. 483-489 |
|
RU 42813093 20230619 RCR |
|
|
RU 42813093 20230619 |
|
|
RU AR-MARS 20230619 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20230619 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
zpch 2022 95 4 483 1 |
|
| 12807 | |
| Неорганический синтез и технология неорганических производств |
