| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/737124974 |
| Дата корректировки | 10:19:36 31 мая 2023 г. |
| Кодируемые данные | 220530s2022||||ru||||||||||||000|||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Библиотека Белорусско-Российского университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.38 |
| Индекс ББК | 32.85 |
|
Чиеу, Ч.. В. 070 |
|
|
Применение систем автоматизированного проектирования для учета механических напряжений при разработке неохлаждаемых тепловых детекторов болометрического типа Ч. В. Чиеу , И. Ю. Ловшенко, В. Р. Стемпицкий [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил.: 8 рис., 3 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Аннотация | В статье приведен сравнительный анализ характеристик основных типов болометров. Исследовано конструктивное решение неохлаждаемого теплового детектора болометрического типа, сформированного по технологии микроэлектромеханических систем. Посредством компьютерного моделирования в современных системах автоматизированного проектирования в микроэлектронике для оценки влияния механических напряжений, возникающих в конструктивных материалах при их формировании, на величину деформации выполнен статический механический анализ. Установлено, что для обеспечения нормального функционирования микроболометра (уменьшения максимального отклонения пленки от номинального значения) необходимо уменьшить внутренние механические напряжения в пленке NiCr. Для пленок Si3N4, напротив, это значение следует увеличивать. |
|
Радиоэлектроника Электроника в целом |
|
| Ключевые слова |
интегральный неохлаждаемый тепловой детектор механические напряжения микроболометр моделирование |
|
деформация пленки Si3N4 пленки NiCr температура влажность |
|
|
Ловшенко, И. Ю. 070 Стемпицкий, В. Р. 070 Корсак, К. В. 070 Чунг, Ч. Г. 070 Ха, Д. Д. 070 Колос, В. В. |
|
| Название источника | Цифровая трансформация |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 29.- № 1. - С. 72-80 |
| Технические науки |
