| Индекс УДК | 621.38 |
|
Применение систем автоматизированного проектирования для учета механических напряжений при разработке неохлаждаемых тепловых детекторов болометрического типа Ч. В. Чиеу , И. Ю. Ловшенко, В. Р. Стемпицкий [и др.] |
|
| Аннотация | В статье приведен сравнительный анализ характеристик основных типов болометров. Исследовано конструктивное решение неохлаждаемого теплового детектора болометрического типа, сформированного по технологии микроэлектромеханических систем. Посредством компьютерного моделирования в современных системах автоматизированного проектирования в микроэлектронике для оценки влияния механических напряжений, возникающих в конструктивных материалах при их формировании, на величину деформации выполнен статический механический анализ. Установлено, что для обеспечения нормального функционирования микроболометра (уменьшения максимального отклонения пленки от номинального значения) необходимо уменьшить внутренние механические напряжения в пленке NiCr. Для пленок Si3N4, напротив, это значение следует увеличивать. |
| Ключевые слова |
интегральный неохлаждаемый тепловой детектор механические напряжения микроболометр моделирование |
| Название источника | Цифровая трансформация |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 29.- № 1. - С. 72-80 |
