| Индекс УДК | 537.311.33 |
|
Оптические свойства пиролитического нитрида кремния SiN[x], обогащённого кремнием Т. В. Перевалов, Е. В. Спесивцев, С. В. Рыхлицкий [и др.] |
|
| Объем | 1 файл (1, 73 Мб) |
| Примечание | Загл. с титул. экрана |
| Аннотация | Нестехиометрический нитрид кремния SiN[x], обогащённый кремнием, является перспективным материалом для разработки энергонезависимой мемристорной памяти. В работе изучаются оптические свойства SiN[x], синтезированного в реакторе пониженного давления при 800 С при разных соотношения дихлорсилана (SiH[2]Cl[2]) к аммиаку (NH[3]). Установлено, что для плёнок, синтезированных при отношении SiH[2]Cl[2]/NH[3]=1/1, 1/2 и 1/3, соответствующие значения ширины запрещённой зоны составляют 3. 83, 4. 17 и 4. 40 eV. При этом соответствующие значения параметра x, найденные по рассчитанной из первых принципов зависимости значения ширины запрещённой зоны SiN]x[ от x, составляют 1. 26, 1. 30 и 1. 32. Таким образом, увеличивая отношение SiH[2]Cl[2]/NH[3], можно создавать нестехиометрические плёнки SiN[x] с контролируемой степенью обогащения кремнием при высокой однородности химического состава и толщины. |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 130, № 11. - С. 1718-1722 |
|
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=50006381 |
