| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | BY/FL BSU/STAT/VodnevaE/72f05d7eca9b4e25b651144c9c0a283f |
| Дата корректировки | 12:55:39 30 ноября 2022 г. |
| Кодируемые данные | 221101s2022||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Индекс ББК | 31.233 |
|
070 Наливайко, О. Ю. Олег Юрьевич "Интеграл" – управляющая компания холдинга "Интеграл" |
|
|
Сегрегационно-индуцированное формирование нанокристаллов Ge в оксиде кремния О. Ю. Наливайко, А. С. Турцевич, В. И. Плебанович, П. И. Гайдук |
|
| Дата издания оригинала | 2022 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 6 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 77 (19 назв.) |
| Аннотация | Проведено исследование начальных стадий роста слоев сплавов Si[1-x]Ge[x] и уточнен механизм формирования нанокристаллов Ge, инкорпорированных в оксид кремния. |
|
Энергетика Полупроводниковые материалы и изделия |
|
| Ключевые слова |
нанокристаллы химическое осаждение газовые фазы термическое окисление бинарные сплавы оксид кремния германий Ge |
|
070 Турцевич, А. С. доктор технических наук Аркадий Степанович Министерство промышленности Республики Беларусь 070 Плебанович, В. И. кандидат технических наук Владимир Иванович "Планар" – управляющая компания холдинга "Планар" 070 Гайдук, П. И. доктор физико-математических наук Петр Иванович Белорусский государственный университет |
|
|
BY/FL BSU/STAT/VodnevaE/e7eaa275b1634c06bc57982e1926630e Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2022 № 2. - С. 70-78 2520-2243 |
|
| RU | |
| 863 | |
|
https://elib.bsu.by/handle/123456789/286148 |
|
|
https://doi.org/10.33581/2520-2243-2022-2-70-78 |
|
| Тип документа | b |
| Наноматериалы и нанотехнологии |
