Поиск

Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния

Авторы: Лобанок, М. В. Мухаммад, А. И. Гайдук, П. И.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер zhps22_to89_no2_ss204_ad1
Дата корректировки 13:01:03 31 октября 2022 г.
Кодируемые данные 221003s2022||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-zhps22_to89_no2_ss204_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 535.33
Индекс ББК 22.344
Таблицы для массовых библиотек
Лобанок, М. В.
070
Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния
М. В. Лобанок, А. И. Мухаммад, П. И. Гайдук
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 209 (17 назв. )
Аннотация Методами просвечивающей электронной микроскопии установлено, что быстрая вакуумнотермическая карбидизация кремния при 1100 °C приводит к формированию слоев кубического карбидa кремния (SiC). Полоса ИК-спектра пропускания при 798 см{-1}, соответствующая валентному колебанию Si-C, и максимум спектра комбинационного рассеяния 793 см{-1}, соотносимый с поперечной оптической фононной модой SiC, подтверждают формирование слоя кубического политипа SiC. Методом ИК-спектроскопии обнаружена полоса поглощения Si-O-Si 1100 см{-1}. Определена зависимость коэффициента пропускания от волнового числа.
Физика
AR-MARS
Спектроскопия
AR-MARS
Ключевые слова гетероструктура SiC/Si
инфракрасная спектроскопия
карбид кремния
карбидизация кремния
коэффициент пропускания
спектроскопия комбинационного рассеяния света
Мухаммад, А. И.
070
Гайдук, П. И.
070
ISSN 0514-7506
Название источника Журнал прикладной спектроскопии
Место и дата издания 2022
Прочая информация Т. 89, № 2. - С. 204-209
RU
43013090
20221003
RCR
RU
43013090
20221003
RU
AR-MARS
20221003
RCR
RU
AR-MARS
20221003
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
zhps
2022
89
2
204
1
718