| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | stik22_no7_ss3_ad1 |
| Дата корректировки | 9:37:48 28 сентября 2022 г. |
| Кодируемые данные | 220825s2022||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-stik22_no7_ss3_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научно-техническая библиотека Российского Федерального Ядерного центра - Всероссийского научно-исследовательского института технической физики им. акад. Е. И. Забабахина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 666.29 |
| Индекс ББК | 35.42 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
| 61.35.29 | |
|
Липатьева, Т. О. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 |
|
|
Оптимизация параметров формирования полых каналов в стекле методом прямой лазерной записи и последующего селективного травления Т. О. Липатьева, С. И. Стопкин, А. С. Липатьев [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 7 (14 назв.) |
| Аннотация | Метод двухстадийного формирования полых каналов в стеклах путем прямой лазерной записи и последующего селективного травления активно применяется для изготовления устройств микрофлюидики. Исследовано влияние концентрации травильного раствора, скорости перемещения лазерного пучка, энергии лазерных импульсов на скорость травления, селективность и шероховатость полых каналов в кварцевом стекле. Использование раствора 1М NaOH позволяет повысить скорость травления полых каналов до 300 мкм/ч при сохранении высочайшей селективности до 680. |
|
Химическая технология AR-MARS Керамические изделия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
гигантское комбинационное рассеяние жидкостное травление кварцевое стекло микрофлюидика полые каналы селективное травление селективность фемтосекундный лазер |
|
Стопкин, С. И. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 Липатьев, А. С. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 Лотарев, С. В. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 Федотов, С. С. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 Сигаев, В. Н. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 |
|
| ISSN | 0131-9582 |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | № 7. - С. 3-8 |
|
RU 45642206 20220825 RCR |
|
|
RU 45642206 20220825 |
|
|
RU AR-MARS 20220904 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20220904 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
stik 2022 7 3 1 |
|
| 965 |
