| Индекс УДК | 666.29 |
|
Оптимизация параметров формирования полых каналов в стекле методом прямой лазерной записи и последующего селективного травления Т. О. Липатьева, С. И. Стопкин, А. С. Липатьев [и др.] |
|
| Аннотация | Метод двухстадийного формирования полых каналов в стеклах путем прямой лазерной записи и последующего селективного травления активно применяется для изготовления устройств микрофлюидики. Исследовано влияние концентрации травильного раствора, скорости перемещения лазерного пучка, энергии лазерных импульсов на скорость травления, селективность и шероховатость полых каналов в кварцевом стекле. Использование раствора 1М NaOH позволяет повысить скорость травления полых каналов до 300 мкм/ч при сохранении высочайшей селективности до 680. |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | № 7. - С. 3-8 |
