Поиск

Особенности структурирования и абляции тонких пленок титана фемтосекундными лазерными импульсами

Авторы: Кузьмин, Е. В. Клековкин, А. В.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер opsp22_to130_no4_ss517_ad1
Дата корректировки 15:08:44 3 сентября 2022 г.
Кодируемые данные 220826s2022||||RU|||||||||||#||||# rus0|
10. 21883/OS. 2022. 04. 52265. 66-21
DOI
Системный контрольный номер RUMARS-opsp22_to130_no4_ss517_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Фундаментальная библиотека Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 535.2/3
Индекс ББК 22.343
Таблицы для массовых библиотек
Кузьмин, Е. В.
Физический институт им. П. Н. Лебедева
070
Особенности структурирования и абляции тонких пленок титана фемтосекундными лазерными импульсами
Е. В. Кузьмин, А. В. Клековкин
Объем 1 файл (3, 13 Мб)
Текст
электронный
Примечание Загл. с титул. экрана
Статья представлена на Международной научно-технической конференции "Сверхбыстрые оптические явления", прошедшей в Москве в октябре 2021 года.
Библиография Библиогр.: с. 520-521 (10 назв.)
Аннотация Проведено исследование процессов структурирования и абляции пленки титана фемтосекундными лазерными импульсами на длинах волн излучения 515 и 1030 nm как в одноимпульсном, так и в многоимпульсном режимах. Определены оптимальные энергетические режимы селективного удаления материала пленки без повреждения подложки, а также условия генерации поверхностных периодических структур. Показана эволюция периодических структур при увеличении числа лазерных импульсов. Прецизионное удаление титана связано с термомеханическими взрывным кипением и соответствующим ему вкладом энергии, обеспечивающим каскадный вид абляционных кратеров.
Примеч. о целев. назн. Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Физика
AR-MARS
Физическая оптика
AR-MARS
Ключевые слова тонкие пленки титана
абляция пленок титана
структурирование пленок титана
фемтосекундные лазерные импульсы
обработка поверхностей
поверхностные структуры
лазерные импульсы
Клековкин, А. В.
Физический институт им. П. Н. Лебедева
070
"Сверхбыстрые оптические явления", Международная научно-техническая конференция
Москва
2021
Вторичная ответственность
ISSN 0030-4034
Название источника Оптика и спектроскопия
Место и дата издания 2022
Прочая информация Т. 130, № 4. - С. 517-521
RU
19013582
20220826
RCR
RU
19013582
20220826
RU
AR-MARS
20220830
RCR
RU
AR-MARS
20220830
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48287089
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
opsp
2022
130
4
517
1
13761
Лазерная физика и лазерная оптика
drc cu
uabc
html