| Индекс УДК | 535.2/3 |
|
Особенности структурирования и абляции тонких пленок титана фемтосекундными лазерными импульсами Е. В. Кузьмин, А. В. Клековкин |
|
| Объем | 1 файл (3, 13 Мб) |
| Примечание |
Загл. с титул. экрана Статья представлена на Международной научно-технической конференции "Сверхбыстрые оптические явления", прошедшей в Москве в октябре 2021 года. |
| Аннотация | Проведено исследование процессов структурирования и абляции пленки титана фемтосекундными лазерными импульсами на длинах волн излучения 515 и 1030 nm как в одноимпульсном, так и в многоимпульсном режимах. Определены оптимальные энергетические режимы селективного удаления материала пленки без повреждения подложки, а также условия генерации поверхностных периодических структур. Показана эволюция периодических структур при увеличении числа лазерных импульсов. Прецизионное удаление титана связано с термомеханическими взрывным кипением и соответствующим ему вкладом энергии, обеспечивающим каскадный вид абляционных кратеров. |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 130, № 4. - С. 517-521 |
|
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48287089 |
