| Индекс УДК | 544.22 |
|
Эпитаксиальный карбид кремния на кремнии. Метод согласованного замещения атомов (обзор) С. А. Кукушкин, А. В. Осипов |
|
| Примечание | К 90-летию со дня рождения А. И. Русанова |
| Аннотация | В обзоре отражены результаты технологии и теории роста карбида кремния на кремнии методом согласованного замещения атомов. Доведена технология роста пленок карбида кремния на кремнии методом замещения атомов до стадии готовности к промышленному производству чипов с гетероструктурами для светодиодов на кремнии. |
| Название источника | Журнал общей химии |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 92, № 4. - С. 547-577 |
