Поиск

Применение мозаичных катодов, содержащих сегменты TiB (СТИМ-4), для нанесения защитных покрытий в системе Ti–Al–Cr–N методом несбалансированного магнетронного распыления CFUBMS

Авторы: Кирюханцев-Корнеев, Ф. В.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер zamt22_to58_no2_ss216_ad1
Дата корректировки 9:55:27 29 апреля 2022 г.
Кодируемые данные 220420s2022||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-zamt22_to58_no2_ss216_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научная библиотека Брянского государственного технического университета
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 66
Индекс ББК 35
Таблицы для массовых библиотек
Кирюханцев-Корнеев, Ф. В.
070
Применение мозаичных катодов, содержащих сегменты TiB (СТИМ-4), для нанесения защитных покрытий в системе Ti–Al–Cr–N методом несбалансированного магнетронного распыления CFUBMS
Ф. В. Кирюханцев-Корнеев
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 224 (35 назв. )
Аннотация Целью настоящей работы является исследование закономерностей изменения химического состава и механических свойств ионно-плазменных покрытий Ti–Al–Cr–N при введении бора. При нанесении покрытий методом магнетронного распыления в замкнутом несбалансированном магнитном поле (closed field unbalanced magnetron sputtering, CFUBMS) использовались мишени Ti, Al и Cr. Легирование бором осуществлялось за счет применения при распылении сегментов состава (марка СТИМ-4), установленных в составную мишень Cr. Апробировано несколько вариантов размещения сегментов. Состав покрытий определялся с помощью оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда. Твердость, модуль упругости и упругое восстановление были измерены с использованием наноиндентирования. Также проведена оценка трибологических свойств и жаростойкости полученных покрытий.
Химическая технология
AR-MARS
Общие вопросы химической технологии
AR-MARS
Ключевые слова мозаичные катоды
защитные покрытия
CFUBMS
несбалансированное магнетронное распыление
наноиндентирование
износостойкость
жаростойкость
упругое восстановление
ISSN 0044-1856
Название источника Физикохимия поверхности и защита материалов
Место и дата издания 2022
Прочая информация Т. 58, № 2. - С. 216-224
RU
24113514
20220420
RCR
RU
24113514
20220420
RU
AR-MARS
20220420
RCR
RU
AR-MARS
20220420
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
zamt
2022
58
2
216
1
340
Новые вещества, материалы и покрытия