| Индекс УДК | 66 |
|
Применение мозаичных катодов, содержащих сегменты TiB (СТИМ-4), для нанесения защитных покрытий в системе Ti–Al–Cr–N методом несбалансированного магнетронного распыления CFUBMS Ф. В. Кирюханцев-Корнеев |
|
| Аннотация | Целью настоящей работы является исследование закономерностей изменения химического состава и механических свойств ионно-плазменных покрытий Ti–Al–Cr–N при введении бора. При нанесении покрытий методом магнетронного распыления в замкнутом несбалансированном магнитном поле (closed field unbalanced magnetron sputtering, CFUBMS) использовались мишени Ti, Al и Cr. Легирование бором осуществлялось за счет применения при распылении сегментов состава (марка СТИМ-4), установленных в составную мишень Cr. Апробировано несколько вариантов размещения сегментов. Состав покрытий определялся с помощью оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда. Твердость, модуль упругости и упругое восстановление были измерены с использованием наноиндентирования. Также проведена оценка трибологических свойств и жаростойкости полученных покрытий. |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 58, № 2. - С. 216-224 |
