| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | opsp21_to129_vy12_ss1526_ad1 |
| Дата корректировки | 9:52:41 29 апреля 2022 г. |
| Кодируемые данные | 220404s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
|
DOI 10. 21883/OS. 2021. 12. 51740. 2500-21 |
|
| Системный контрольный номер | RUMARS-opsp21_to129_vy12_ss1526_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 535.37 |
| Индекс ББК | 22.345 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Барабан, А. П. Санкт-Петербургский государственный университет 070 |
|
|
Совместный анализ спектров катодолюминесценции и электролюминесценции слоев Si-SiO[2] на кремнии А. П. Барабан, В. А. Дмитриев, И. Е. Габис [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | граф., табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 1530 (13 назв.) |
| Аннотация | Показана возможность получения дополнительной информации о свойствах центров люминесценции при совместном анализе спектров электролюминесценции и катодолюминесценции структур Si-SiO[2] в спектральном диапазоне 250-800 nm. Показано, что концентрация центров люминесценции, ответственных за полосу 2. 2 eV, не зависит от конечной толщины окисного слоя при равномерном распределении центров по толщине SiO[2]. Установлено, что ответственные за полосу 4. 2 eV центры люминесценции характеризуются неоднородным распределением с преимущественным формированием во внешней части окисного слоя (~30 nm) в количестве, пропорциональном корню квадратному от времени термического окисления, что позволяет связать их образование с процессом диффузии компонентов окислителя. |
|
Физика AR-MARS Люминесценция AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
катодолюминесценция электролюминесценция центры люминесценции кремний кремниевые слои электроны электролиты |
|
Дмитриев, В. А. Санкт-Петербургский государственный университет 070 Габис, И. Е. Санкт-Петербургский государственный университет 070 Петров, Ю. В. Санкт-Петербургский государственный университет 070 Прокофьев, В. А. Санкт-Петербургский государственный университет 070 |
|
| ISSN | 0030-4034 |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 129, вып. 12. - С. 1526-1530 |
|
RU 19013582 20220404 RCR |
|
|
RU 19013582 20220404 |
|
|
RU AR-MARS 20220406 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20220406 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
opsp 2021 129 12 1526 1 |
|
| 13761 | |
| Спектроскопия конденсированного состояния |
