| Индекс УДК | 535.37 |
|
Совместный анализ спектров катодолюминесценции и электролюминесценции слоев Si-SiO[2] на кремнии А. П. Барабан, В. А. Дмитриев, И. Е. Габис [и др.] |
|
| Аннотация | Показана возможность получения дополнительной информации о свойствах центров люминесценции при совместном анализе спектров электролюминесценции и катодолюминесценции структур Si-SiO[2] в спектральном диапазоне 250-800 nm. Показано, что концентрация центров люминесценции, ответственных за полосу 2. 2 eV, не зависит от конечной толщины окисного слоя при равномерном распределении центров по толщине SiO[2]. Установлено, что ответственные за полосу 4. 2 eV центры люминесценции характеризуются неоднородным распределением с преимущественным формированием во внешней части окисного слоя (~30 nm) в количестве, пропорциональном корню квадратному от времени термического окисления, что позволяет связать их образование с процессом диффузии компонентов окислителя. |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 129, вып. 12. - С. 1526-1530 |
