| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | opsp21_to129_vy11_ss1426_ad1 |
| Дата корректировки | 9:52:07 29 апреля 2022 г. |
| Кодируемые данные | 220331s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
|
DOI 10. 21883/OS. 2021. 11. 51645. 2428-21 |
|
| Системный контрольный номер | RUMARS-opsp21_to129_vy11_ss1426_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 535.37 |
| Индекс ББК | 22.345 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Булярский, С. В. Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН 070 |
|
|
Изменение оптических свойств оксида титана при кристаллизации С. В. Булярский, Д. А. Коива, Г. Г. Гусаров, В. В. Светухин |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | граф., табл., ил. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 1433-1434 (28 назв.) |
| Аннотация | Кристаллизация аморфных пленок оксида титана, синтезированных методом магнетронного распыления, проведена при температурах 700, 800 и 900 С в атмосфере кислорода. Показатель преломления пленок растет при кристаллизации с постоянной времени, которая зависит от температуры, что позволило определить энергию активации процесса кристаллизации порядка 0. 6 eV. Модель кинетики роста нанокристаллов оксида титана, которая использована в настоящей работе, показала, что указанная энергия активации соответствует энергии диффузии вакансий кислорода. Этот процесс является определяющим для роста нанокристаллов оксида титана при отжиге в атмосфере кислорода. Изучение фотолюминесценции показало, что кристаллизация приводит к изменению отношения интенсивностей различных полос излучения. Гаснут полосы, которые связаны с вакансией кислорода. Снижение концентрации этих вакансий в пленках приводит к росту их сопротивления и стабилизации пленок во времени. |
|
Физика AR-MARS Люминесценция AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
оптические свойства оксид титана кристаллизация пленки оксида титана фотолюминесценция показатели преломления пленок экспериментальные исследования тонкие пленки |
|
Коива, Д. А. Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН 070 Гусаров, Г. Г. Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН 070 Светухин, В. В. Научно-производственный комплекс "Технологический центр" 070 |
|
| ISSN | 0030-4034 |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 129, вып. 11. - С. 1426-1434 |
|
RU 19013582 20220331 RCR |
|
|
RU 19013582 20220331 |
|
|
RU AR-MARS 20220401 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20220401 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
opsp 2021 129 11 1426 1 |
|
| 13761 | |
| Волоконная и интегральная оптика |
