| Индекс УДК | 535.37 |
|
Изменение оптических свойств оксида титана при кристаллизации С. В. Булярский, Д. А. Коива, Г. Г. Гусаров, В. В. Светухин |
|
| Аннотация | Кристаллизация аморфных пленок оксида титана, синтезированных методом магнетронного распыления, проведена при температурах 700, 800 и 900 С в атмосфере кислорода. Показатель преломления пленок растет при кристаллизации с постоянной времени, которая зависит от температуры, что позволило определить энергию активации процесса кристаллизации порядка 0. 6 eV. Модель кинетики роста нанокристаллов оксида титана, которая использована в настоящей работе, показала, что указанная энергия активации соответствует энергии диффузии вакансий кислорода. Этот процесс является определяющим для роста нанокристаллов оксида титана при отжиге в атмосфере кислорода. Изучение фотолюминесценции показало, что кристаллизация приводит к изменению отношения интенсивностей различных полос излучения. Гаснут полосы, которые связаны с вакансией кислорода. Снижение концентрации этих вакансий в пленках приводит к росту их сопротивления и стабилизации пленок во времени. |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 129, вып. 11. - С. 1426-1434 |
