| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | iphz21_to94_no4_ss967_ad1 |
| Дата корректировки | 11:30:08 30 марта 2022 г. |
| Кодируемые данные | 220326s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-iphz21_to94_no4_ss967_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Дагестанского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 539.2 |
| Индекс ББК | 22.37 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Петровская, А. С. 070 |
|
|
Микроструктура тонких пленок тантала и его соединений А. С. Петровская, В. А. Лапицкая, Г. Б. Мельникова [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 6 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 972 (23 назв. ) |
| Аннотация | Методом атомно-силовой микроскопии изучена микроструктура покрытий тантала и его соединений, сформированных на поверхности подложек из нержавеющей стали и предметного стекла методом реактивного магнетронного распыления. Установлено, что для наноструктурированных пленок тантала характерна ячеистая структура, размер ячеек которой зависит от материала и физико-химических свойств поверхности подложки. |
|
Физика AR-MARS Физика твердого тела. Кристаллография в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
пленки тантала магнетронное распыление атомно-силовая микроскопия микроструктура шероховатость тонкие пленки |
|
Лапицкая, В. А. 070 Мельникова, Г. Б. 070 Кузнецова, Т. А. 070 Чижик, С. А. 070 Зыкова, А. В. 070 Сафонов, В. И. 070 |
|
| ISSN | 0021-0285 |
| Название источника | Инженерно-физический журнал |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 94, № 4. - С. 967-972 |
|
RU 36713090 20220326 RCR |
|
|
RU 36713090 20220326 |
|
|
RU AR-MARS 20220326 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20220326 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
iphz 2021 94 4 967 1 |
|
| 12904 | |
| Наноструктуры |
