Поиск

Микроструктура тонких пленок тантала и его соединений

Авторы: Петровская, А. С. Лапицкая, В. А. Мельникова, Г. Б. Кузнецова, Т. А. Чижик, С. А. Зыкова, А. В. Сафонов, В. И.
Подробная информация
Индекс УДК 539.2
Микроструктура тонких пленок тантала и его соединений
А. С. Петровская, В. А. Лапицкая, Г. Б. Мельникова [и др.]
Аннотация Методом атомно-силовой микроскопии изучена микроструктура покрытий тантала и его соединений, сформированных на поверхности подложек из нержавеющей стали и предметного стекла методом реактивного магнетронного распыления. Установлено, что для наноструктурированных пленок тантала характерна ячеистая структура, размер ячеек которой зависит от материала и физико-химических свойств поверхности подложки.
Название источника Инженерно-физический журнал
Место и дата издания 2021
Прочая информация Т. 94, № 4. - С. 967-972