| Индекс УДК | 539.2 |
|
Микроструктура тонких пленок тантала и его соединений А. С. Петровская, В. А. Лапицкая, Г. Б. Мельникова [и др.] |
|
| Аннотация | Методом атомно-силовой микроскопии изучена микроструктура покрытий тантала и его соединений, сформированных на поверхности подложек из нержавеющей стали и предметного стекла методом реактивного магнетронного распыления. Установлено, что для наноструктурированных пленок тантала характерна ячеистая структура, размер ячеек которой зависит от материала и физико-химических свойств поверхности подложки. |
| Название источника | Инженерно-физический журнал |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 94, № 4. - С. 967-972 |
