| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Оптические и структурные свойства наноструктур Ag и c-Si, формирующихся в процессе металл-стимулированного химического травления кремния Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Работа, состоящая из двух частей, посвящена изучению особенностей трeхстадийного процесса металл-стимулированного химического травления кремния (МCХТ), используемого для получения кремниевых нанонитей. Ранее нами было проведено исследование слоя самоорганизующихся наночастиц серебра, осаждаемых химическим методом из раствора на поверхности монокристаллического кремния (c-Si) (стадия 1 МСХТ), а в настоящей работе - наноструктур Si, формируемых на стадиях 2 и 3. С помощью спектральной эллипсометрии (длины волн лямбда = 250-900 нм) определены псевдодиэлектрические функции наноструктур и проведено их сопоставление для всех трех стадий процесса МСХТ. Кроме того, для наноструктур Si вычислены параметры слоев (толщина и доля пустот) в многослойной оптической модели с использованием приближения эффективной среды Бруггемана и подгоночных процедур. |
| Ключевые слова | кремниевые наноструктуры |
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 4. - С. 576-582 |
|
| Имя макрообъекта | Жарова_оптические |
