| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Особенности характеристик устойчивых к полевым повреждениям структур кремний-сверхтонкий окисел-поликремний Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Приведены результаты исследований особенностей вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик структур кремний-сверхтонкий окисел-поликремний, устойчивых к полевым повреждениям. Оказалось, что происходящая с изменением полевого напряжения общая перезарядка сконцентрированных у границы раздела подложка-изолятор локализованных электронных состояний и неосновных носителей на порядок выше, чем у подверженных повреждению полевым стрессовым воздействием образцов. Туннельная вольт-амперная характеристика имеет существенно асимметричный вид: ток, протекающий из полевого электрода в кремниевую подложку, на несколько порядков меньше тока, протекающего из кремния в поликремний, при одинаковых значениях внешнего напряжения, падающего на изолирующий слой. Для объяснения такой асимметрии предположено, что в переходном слое от поликремния к окислу потенциальный барьер, разделяющий полупроводниковые электрод и подложку, имеет высоту ? 1 эВи поэтому всегда препятствует электропереносу; для обратных потоков этот барьер перестает ограничивать проводимость, как только уровень туннелирования станет выше него. |
| Ключевые слова | кремний-сверхтонкий |
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 4. - С. 481-484 |
|
| Имя макрообъекта | Гольдман_особенности |
