| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Получение пористого кремния путем спекания нанопорошка Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Хорошо известный способ получения слоев макропористого кремния с помощью электрохимического и фотоэлектрохимического травления монокристаллических пластин является малопроизводительным и дорогим. В качестве альтернативного метода получения объемного макропористого кремния можно использовать высокотемпературное спекание порошка Si. В работе проведены исследования процесса спекания нанопорошка, предварительно прошедшего холодную компрессию всухую (без связующих добавок). Изучены свойства полученного материала (микроструктура, плотность и электропроводность) в зависимости от температуры и времени отжига. Обсуждаются способы изменения пористости спеченных образцов и методы определения площади внутренней поверхности. |
| Ключевые слова | пористый кремний |
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 4. - С. 540-549 |
|
| Имя макрообъекта | Астрова_получение |
