| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/695819235 |
| Дата корректировки | 11:23:42 18 января 2022 г. |
| 10.21883/FTP.2019.03.47280.9005 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Шуман, В. Б. | |
|
Распад твердого раствора межузельного магния в кремнии Электронный ресурс |
|
| The decomposition of the solid solution of interstitial magnesium in silicon | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 9 назв. |
| Аннотация | Изучался распад твердого раствора межузельного магния Mg[i] в кремнии. В опытах использовался бестигельный бездислокационный монокристаллический n-Si c величиной удельного сопротивления ~ 8 · 10{3} Ом· см, содержанием кислорода ~ 5 · 10{14} см{-3} и углерода ~ 1 · 10{15} см{-3}. Образцы легировались диффузионным сандвич-методом при T = 1100°C и закаливались. Распад пересыщенного твердого раствора Mg[i] изучался путем исследования кинетики увеличения удельного сопротивления легированных образцов в результате отжигов в диапазоне T = 400-620°C. Показано также, что при температурах, не превышающих 400°C, Si : Mg обнаруживает стабильные свойства, что важно при его возможном практическом использовании. |
| Ключевые слова | межузельный магний в кремнии |
|
кремний магний сандвич-метод диффузии эффект Холла легированные пластины |
|
|
Лодыгин, А. Н. Порцель, Л. М. Яковлева, А. А. Абросимов, Н. В. Астров, Ю. А. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 3. - С. 314-316 |
|
| Имя макрообъекта | Шуман_распад |
| Тип документа | b |
