| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Распад твердого раствора межузельного магния в кремнии Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Изучался распад твердого раствора межузельного магния Mg[i] в кремнии. В опытах использовался бестигельный бездислокационный монокристаллический n-Si c величиной удельного сопротивления ~ 8 · 10{3} Ом· см, содержанием кислорода ~ 5 · 10{14} см{-3} и углерода ~ 1 · 10{15} см{-3}. Образцы легировались диффузионным сандвич-методом при T = 1100°C и закаливались. Распад пересыщенного твердого раствора Mg[i] изучался путем исследования кинетики увеличения удельного сопротивления легированных образцов в результате отжигов в диапазоне T = 400-620°C. Показано также, что при температурах, не превышающих 400°C, Si : Mg обнаруживает стабильные свойства, что важно при его возможном практическом использовании. |
| Ключевые слова | межузельный магний в кремнии |
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 3. - С. 314-316 |
|
| Имя макрообъекта | Шуман_распад |
