Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Структура и свойства пленок оксида галлия, полученных высокочастотным магнетронным напылением
Поиск

Структура и свойства пленок оксида галлия, полученных высокочастотным магнетронным напылением

Авторы: Калыгина, В. М. Лыгденова, Т. З. Новиков, В. А. Петрова, Ю. С. Цымбалов, А. В. Яскевич, Т. М.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Структура и свойства пленок оксида галлия, полученных высокочастотным магнетронным напылением
Электронный ресурс
Ключевые слова оксид галлия
Физика и техника полупроводников
2019
Т. 53, вып. 3. - С. 411-417
Имя макрообъекта Калыгина_структура