| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Кристаллизация плeнок аморфного германия и многослойных структур a-Ge/a-Si под действием наносекундного лазерного излучения Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | импульсные лазерные отжиги |
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 3. - С. 423-429 |
|
| Имя макрообъекта | Володин_кристаллизация |
