| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/695745871 |
| Дата корректировки | 14:51:36 17 января 2022 г. |
| 10.21883/FTP.2019.03.47297.8972 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Бучин, Э. Ю. | |
|
Формирование нанопористых пленок силицидов меди Электронный ресурс |
|
| Formation of nanoporous films of copper silicides | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 14 назв. |
| Аннотация | Экспериментально показана возможность формирования нанопористых пленок силицидов меди разного фазового состава. Для этого параметры исходной структуры a-Si/Cu и режимы ее отжига подбирали таким образом, чтобы процесс твердофазного синтеза останавливался на стадии образования разветвленного силицидного кластера. Затем пленки подвергали жидкостному травлению в смеси разбавленных неорганических кислот. При этом селективно удалялась метастабильная фаза Cu[x]Si с низким содержанием меди и высвобождался трехмерный силицидный кластер. Одновременно вскрывались приповерхностные пустоты Киркендалла (Kirkendall voids), присутствующие в пленках. В результате совокупности этих двух процессов формировалась нанопористая структура. |
| Ключевые слова | нанопористые пленки |
|
силициды меди силицидные пленки селективное травление |
|
|
Наумов, В. В. Васильев, С. В. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 3. - С. 418-422 |
|
| Имя макрообъекта | Бучин_формирование |
| Тип документа | b |
