| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Формирование нанопористых пленок силицидов меди Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | нанопористые пленки |
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 3. - С. 418-422 |
|
| Имя макрообъекта | Бучин_формирование |
