| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Техника электрохимического вольт-фарадного профилирования сильно легированных структур с резким профилем распределения примеси Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | электрохимическое вольт-фарадное профилирование |
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 2. - С. 281-286 |
|
| Имя макрообъекта | Фролов_техника |
